[发明专利]籽晶检测方法与晶体硅锭的生产方法在审
申请号: | 202011455727.0 | 申请日: | 2020-12-10 |
公开(公告)号: | CN114622269A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 黎晓丰 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/14 | 分类号: | C30B11/14;C30B29/06;G01N21/84 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 段友强 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请提供了一种籽晶检测方法与晶体硅锭的生产方法,所述籽晶检测方法包括对籽晶进行预处理,使得籽晶的检测面形成金字塔状的绒面结构,所述检测面是指所述籽晶的顶面和/或底面;再采用既定光源照射所述籽晶的检测面,并在所述检测面上形成十字型的光源图像,然后,根据光源图像确定所述籽晶的侧面晶向。本申请籽晶检测方法通过对籽晶进行预处理,再采用既定光源便能快速确定籽晶的侧面晶向,操作便捷;采用上述籽晶检测方法,在晶体硅锭的生产过程中,可有效避免籽晶排布错误,保证晶体硅锭的生长质量。 | ||
搜索关键词: | 籽晶 检测 方法 晶体 生产 | ||
【主权项】:
暂无信息
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