[发明专利]一种激光诱导等离子体微细加工装置及方法有效
| 申请号： | 202011451342.7 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112658446B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王玉峰;王斌;王海涛;张文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | B23K10/00 | 分类号： | B23K10/00 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 校丽丽 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于微细加工技术领域，公开了一种激光诱导等离子体微细加工装置及方法，所述的装置包括：加工头模块，包括形成加工内腔的加工头主体、位于加工头主体顶部的透明窗口、以及位于加工内腔一侧的内腔通道；激光模块，用于发射激光束，所述激光束通过所述透明窗口聚焦于所述加工头主体的加工内腔中；液体工作介质，通过所述内腔通道进入所述加工头主体的加工内腔，并通过用于通过所述加工头主体出口流出，作用于所述加工头主体下方的工件表面；磁场整形模块，设置在所述加工头主体出口的内壁上，用于在加工头主体在旋转过程中形成磁场；上述，通过液体工作介质的高速导入，可及时冷却加工区域，并冲刷加工区域、排除加工产物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 诱导 等离子体 微细 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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