[发明专利]一种激光精密开槽的光学系统及开槽方法在审
| 申请号： | 202011447674.8 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112548366A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李勋武;刘德军 | 申请（专利权）人： | 苏州迅镭激光科技有限公司;江苏迅镭激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/046;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215100 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光精密开槽的光学系统及开槽方法，其包括激光器、第一反射镜组、第一半波片、楔形镜、将楔形镜处理后的光束均匀分为两束能量相等的第一光束与第二光束的第二分光棱镜、将第一光束反射至一第一合束棱镜中的第二反射镜组、将第二光束进行偏振后入射到第一合束棱镜中的第一振镜单元、调制第一合束棱镜发射出光束的偏振形态的第二半波片、将光束均匀分成四束激光的第三分光棱镜、将其中两束激光反射至一第二合束棱镜中的第三反射镜组、将另外两束激光进行偏振处理后入射到第二合束棱镜中第二振镜单元、以及激光聚焦单元。本发明减少崩边、波浪纹的现象，使得槽边界轮廓清晰、拐角基本无过烧。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 精密 开槽 光学系统 方法 | ||
【主权项】：
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