[发明专利]一种极紫外波段宽带隙高反射率光子晶体薄膜在审
| 申请号： | 202011444534.5 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112526644A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李玉平;李若楠;边慧敏;胡慧君;韩培德;张凯 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | G02B1/00 | 分类号： | G02B1/00;C30B30/02;C30B29/18;C30B29/64;C30B7/12 |
| 代理公司： | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光学薄膜的技术领域，更具体地说，本发明涉及一种极紫外波段宽带隙高反射率光子晶体薄膜；所述光子晶体薄膜可以利用电化学辅助自组装沉积法制备，包括步骤：称取水、乙醇、硅源、表面活性剂、硝酸钠、盐酸进行预水解反应，在导电基底上施加阴极电势进行电化学辅助自组装沉积一定时间，取出电极立即用水冲洗，130℃干燥，再将介孔薄膜在450℃空气中焙烧一定时间，即得到光子晶体薄膜；本发明的光子晶体薄膜介孔孔径在2nm‑4nm范围调节均可在5‑12nm极紫外波段获得高反射率，且制备时间短，制备厚度可在20nm‑200 nm范围内进行调节，灵活调变，操作简单，无需特殊的设备和条件，制备成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 波段 宽带 反射率 光子 晶体 薄膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太原理工大学，未经太原理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011444534.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
