[发明专利]一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统有效
| 申请号： | 202011443087.1 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112697904B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李朝清;王祥科;李建浩 | 申请（专利权）人： | 朗析仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201700 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀，第一定量环、第二定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第一针型阀、第二针型阀、第三针型阀、第四针型阀、第一脉冲放电氦离子化检测器和第二脉冲放电氦离子化检测器。本发明，可以检测一氟甲烷中的氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、乙烷、乙烯、三氟甲烷、丙烷、丙烯组分，检测限可达ppb级别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子 气体 甲烷 中的 杂质 组分 分析 系统 | ||
【主权项】：
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