[发明专利]一种用于研磨机的稳定性高的固定装置在审
| 申请号： | 202011428239.0 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112792727A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 刘喜 | 申请（专利权）人： | 刘喜 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B55/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 029200 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于研磨机的稳定性高的固定装置，包括底板和支撑盘，所述底板水平设置，所述支撑盘的轴线与底板垂直，所述支撑盘位于底板的上方，所述支撑盘与底板正对设置且之间设有间隙，所述底板上设有辅助机构和清洁机构，所述辅助机构包括传动轴、第一轴承、支撑管、连接管、移动环和至少两个辅助组件，所述辅助组件包括移动单元和辅助单元，所述移动单元包括电磁铁、导杆、第一弹簧、通孔和导孔，该用于研磨机的稳定性高的固定装置通过辅助机构提高了晶圆研磨的稳定性，不仅如此，还通过清洁机构实现了清除晶圆上残留碎屑的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 研磨机 稳定性 固定 装置 | ||
【主权项】：
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