[发明专利]一种基于堆栈型双模式光子晶体纳米束腔的超紧凑高灵敏度双参量传感器在审
| 申请号： | 202011412685.2 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112697753A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 田慧平;杨莹;孙富君;王铮 | 申请（专利权）人： | 北京邮电大学 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100876 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于堆栈型光子晶体纳米束双模腔的双参量传感器设计，属于光子晶体传感器技术领域。本发明将两种模式局域在同一个光子晶体纳米束腔中，从而提高传感器的性能。具体而言，在二氧化硅基底上引入长度和宽度渐变的长方体硅块，长度从中心向两侧线性增大，宽度从中心向两侧线性减小，构成支持空气模和介质模共存的光子晶体纳米束腔，从而实现了对多参量检测能力和集成能力的提高。相比传统传感器，该光子晶体纳米束腔首次被用于温度和湿度同时传感，湿度灵敏度提高了2～3倍。相比其他双参量传感器，该发明结构装置更加简单，更有利于制作；尺寸大大减小，仅为14μm×0.67μm×0.22μm(长×宽×高)，更有利于集成化。本发明可以用于环境湿度和温度传感领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 堆栈 双模 光子 晶体 纳米 紧凑 灵敏度 参量 传感器 | ||
【主权项】：
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