[发明专利]一种空气敏感性二维材料器件的封装设备及封装方法有效

专利信息
申请号: 202011404712.1 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN112517349B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 于葛亮;蒋斯奇;黄佳贝;肖经宽;陈忻;韩亚清;张棣;王萍;蔡晓凡;马国栋;成澳雪;廉富镯;卢文刚;亚历山大·马耶罗夫;杜人君;王乙博 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: B05D3/04 分类号: B05D3/04;B05C5/02;B05D1/26;H05K9/00
代理公司: 江苏瑞途律师事务所 32346 代理人: 王玉姣;陈彬
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种空气敏感性二维材料器件的封装设备及封装方法,属于二维材料封测领域。利用此设备的封装方法是采用在惰性气体环境下,将二维材料器件封装于采用底座、封盖玻片及高于二维材料器件厚度的封装胶形成的密闭空间中,以此方法封装空气敏感性二维材料器件,避免了传统的在待测二维材料上下各叠一层石墨烯或氮化硼封装时易产生的轨道杂化的问题,保护材料免受或少受外界环境的影响,同时利用设备进行两次的拉曼测试,排除封盖玻片影响,为空气敏感性二维材料器件的后续研究测试提供了安全稳定的环境。
搜索关键词: 一种 空气 敏感性 二维 材料 器件 封装 设备 方法
【主权项】:
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