[发明专利]一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机有效
申请号: | 202011383577.7 | 申请日: | 2020-12-01 |
公开(公告)号: | CN112522678B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 袁小红;王衍;刘运娟;曾晨;梁素贞;赵莉;林晓华;殷薇 | 申请(专利权)人: | 闽江学院 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/04 |
代理公司: | 西安研创天下知识产权代理事务所(普通合伙) 61239 | 代理人: | 郭璐 |
地址: | 350108 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机,包括磁控溅射卷绕镀膜机本体,所述磁控溅射卷绕镀膜机本体包括真空室、转动安装在真空室后侧内壁和前侧内壁之间的四个导辊、以及绕设在四个导辊上的模板,所述真空室的左下角开设有L形安装孔,真空室的左侧固定连接有L形卡块,真空室的底部固定连接有左侧为开口设置的圆卡套。本发明设计合理,操作简便,便于根据实际需要快速对模板的张紧度进行调整,提高调整效率,且便于人员快速对可拆式张紧度调整装置拆装,快速拆装的方式也方便人员后续将可拆式张紧度调整装置快速转移至其他真空室上使用,提高其利用率,满足使用需求,有利于使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 生成 图案 磁控溅射 卷绕 镀膜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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