[发明专利]一种耐磨防护一体化集成式多功能薄膜传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011362502.0 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112577645A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 曾瑞锴;吴正涛;王启民 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01K7/16;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于传感领域，公开了一种耐磨防护一体化集成式多功能薄膜传感器及其制备方法。该方法包括以下步骤：在经过研磨抛光后的基体表面上制备一层绝缘膜；在绝缘膜基础上，采用掩膜法在一半绝缘膜上制备压阻传感薄膜；在压阻传感薄膜的绝缘膜基础上，采用掩膜法在另一半绝缘膜上制备热阻传感薄膜；压阻传感薄膜和热阻传感薄膜统称为传感层；继续采用掩膜法，制备出一层电极层；电极层与传感层接触，还与绝缘层接触；在电极层制备完毕后，最后再制备一层耐磨防护层；耐磨防护层覆盖住全部传感层与部分电极层。所述传感器能对被集成元件所受到的压力、温度进行实时检测，还能对传感器和被集成元件进行防护，能减少传感器和被集成元件所受到的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐磨 防护 一体化 集成 多功能 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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