[发明专利]预测装置、预测方法及记录介质

摘要

提供一种利用了在制造工艺中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组的预测装置、预测方法及记录介质。该预测装置包括：取得部，取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组、和对该对象物进行处理时取得的装置状态信息；以及学习部，包括对所取得的所述时间序列数据组和所述装置状态信息进行处理的多个网络部、及对通过利用该多个网络部进行处理而输出的各输出数据进行合成的连接部，并且以使由所述连接部输出的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行处理时所取得的表示所述制造工艺内的状态的质量指标值接近的方式，针对所述多个网络部及所述连接部进行机器学习。