[发明专利]一种大功率磁控溅射靶PVD炫绿色涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202011329152.8 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112442671A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 彭长明 | 申请（专利权）人： | 创隆实业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于PVD溅射技术领域，公开了一种大功率磁控溅射靶PVD炫绿色涂层及其制备方法和应用。本发明的大功率磁控溅射靶PVD炫绿色涂层是由钛硅底层和氧化钛+氧化硅的复合涂层构成，所述复合涂层是由n个氧化钛+氧化硅涂层组成，n为大于或等于1的整数，所述大功率是指的80A大功率，该炫绿色涂层是通过大功率磁控溅射靶获得，可以叠加复合，涂层颜色稳定，更亮更鲜艳，颜色层更厚更致密，耐磨性能良好，便于大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 磁控溅射 pvd 绿色 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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