[发明专利]一种低成本的带纳米电极的太赫兹光电导天线的制作方法在审
| 申请号： | 202011322511.7 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112379574A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 陈景源 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G03F7/42 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 修斯文;蔡学俊 |
| 地址： | 362712 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低成本的带纳米电极的太赫兹光电导天线的制作方法，其是将纳米压印和显影侧蚀相结合，加工出倒台形状的双层胶，并在制备金属镀层时通过使用开孔的金属挡板减小金属膜的面积，以解决lift‑off工艺加工纳米电极时金属剥离难的问题；同时使用从硬模板翻印而来的可多次利用的软模板，通过纳米压印技术来加工亚微米精度的纳米电极，通过掩膜版光刻来加工微米精度的主电极，从而提高了太赫兹光电导天线的加工速度，降低了加工成本，使其适合大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低成本 纳米 电极 赫兹 电导 天线 制作方法 | ||
【主权项】：
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