[发明专利]渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置在审
| 申请号： | 202011309243.5 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112680711A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 钱婧 | 申请（专利权）人： | 马鞍山悠思电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/26;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/58;H01G13/00;H01G4/005;H01G4/33 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 武淑燕 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，包括箱体；所述箱体的内部顶部贯穿有金属薄膜主体，所述金属薄膜主体的两端连接牵引机构；所述箱体的侧壁连通真空泵；所述箱体的内部底部安装蒸发机构，所述蒸发机构水平置于所述金属薄膜主体的底部；所述蒸发机构用以将金属剂蒸镀于所述金属薄膜主体上；所述箱体的内部顶部对称设有第一密封机构、第二密封机构；本发明能够对金属薄膜进行除尘、除杂处理，提高金属薄膜与蒸镀材料的贴附效果，提高蒸镀层的均匀性和稳定性；第二密封机构能够对金属薄膜进行冷却降温，使得蒸镀后的薄膜能够被金属冷却，能够有效的保证金属薄膜的导电性能、避免金属薄膜受热损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 渐变 金属化 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
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