[发明专利]一种薄膜压电声波谐振器在审
| 申请号： | 202011302851.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112332799A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜压电声波谐振器，包括：从上至下依次叠置的上电极、压电层和下电极；三者在压电层表面方向上的投影相互重叠的区域构成谐振器的有效谐振区，在有效谐振区外，上电极和下电极在压电层表面方向上的投影相互错开；有效谐振区在压电层的投影为六边形，六边形具有长度最长的第一边、与第一边相对的第二边；通过有效谐振区的第一边界延伸出有效谐振区的上电极定义为上电极引出部，通过有效谐振区的第二边界延伸出有效谐振区的下电极定义为下电极引出部；第一边界和第二边界其中之一为第一边，另一为第二边；谐振器还包括承载衬底，其设有声反射结构，有效谐振区位于声反射结构上方，位于声反射结构上方的压电层为完整的膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压电 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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