[发明专利]外差光纤干涉仪位移测量系统及方法有效
| 申请号： | 202011297064.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112484648B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 孙国华;程朝奎;郭升莉 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种外差光纤干涉仪位移测量系统及方法，其中的系统包括同时发射测量光和参考光的激光光源组件、基于第一单模光纤依次设置在测量光的光路上的第一光电探测器、第一光纤耦合器、光纤套圈、平凸透镜、第一偏振分光棱镜和反射装置，以及基于第二单模光纤依次设置在参考光的光路上的第二光电探测器、第二光纤耦合器、准直器、第二偏振分光棱镜和反射装置；其中，待测物体固定在反射装置上；对参考光和测量光进行处理，形成测量信号及参考信号，并根据测量信号及参考信号确定待测物体的位移信息。利用上述发明能够实现高精度的位移检测。 | ||
| 搜索关键词： | 外差 光纤 干涉仪 位移 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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