[发明专利]一种深紫外灯安全启动的控制系统在审
| 申请号： | 202011296830.5 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112433449A | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 刘卫平 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02M1/36;H02M3/335 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘凤 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种深紫外灯安全启动的控制系统，涉及电路技术领域。该控制系统包括：供电电路和控制电路，控制电路包括功率采样模块和脉宽控制器。功率采样模块的输出端与脉宽控制器的第一输入端电连接，功率采样模块的输入端、脉宽控制器的输出端分别与供电电路电连接；标准功率值作为脉宽控制器的第二输入端的输入。在采样电流值小于最大安全电流值时，通过功率采样模块采集的采样功率值和标准功率值进行比较，来确定脉宽控制器输出的脉冲宽度，进而以输出的脉冲宽度调节深紫外灯的功率，使深紫外灯的功率保持稳定，从而保证深紫外灯启动时的稳定性和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 安全 启动 控制系统 | ||
【主权项】：
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