[发明专利]一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法有效
| 申请号： | 202011296318.0 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112595673B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 崔长彩;李子清;陆静;胡中伟;徐西鹏;黄辉;黄国钦 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/25 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 杨依展 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法，包括：采用透射式椭偏测量方式和反射式椭偏测量方式分别测量单晶金刚石衬底；通过上述测量分别获得透射光谱(ψ |
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| 搜索关键词： | 一种 金刚石 衬底 光学 常数 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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