[发明专利]能够在原位自动切换探针的低温多参量扫描探针显微镜在审
| 申请号： | 202011282233.7 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112379130A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 程光磊;黄成园;蔡方煦;王浩远;杜江峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01Q60/02 | 分类号： | G01Q60/02;G01Q10/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种能够在原位自动切换探针的扫描探针显微镜，包括：探针腔，用于固定探针转换台，所述探针转换台包括旋转式自动换针系统或平移式自动换针系统；样品台单元，包括样品台腔和三种工作模式的压电纳米位移台，所述样品台腔用于固定样品台。本发明的扫描探针显微镜的上半部分独立控制转换探针的功能，下半部分独立控制升降样品、快速搜寻样品扫描位置、扫描控制的功能。两部分连接稳固又方便拆卸，便于更换探针，也便于安装样品。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 原位 自动 切换 探针 低温 参量 扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
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