[发明专利]一种大尺寸超薄基板上光学滤光片的制备方法在审
| 申请号： | 202011269158.0 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112230320A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 任海峰;郑培明;董庆辉 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/10 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学成膜技术领域，尤其是一种大尺寸超薄基板上光学滤光片的制备方法，其特征在于：在滤光片基板的两侧表面同时并行镀制与工艺相对应的涂层，位于两侧的两个涂层的应力满足于可以相互抵消的要求。本发明的优点是：在满足红外截止滤光片分光要求的前提下，可有效解决因镀膜应力导致的基板弯曲:不但镀后基板无翘曲变形，且整个镀膜过程中基板都无变形，提高了整个制程过程中的加工精度；另一方面，也极大地缩短了镀膜的制程时间，简化了工艺流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 超薄 基板上 光学 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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