[发明专利]一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置

摘要

本发明公开了一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置，包括底座，所述底座上设有固定立柱、加热固定机构以及入料导向器，固定立柱的下端与底座固定连接、上端设有供喷管插入固定的插孔；加热固定机构包括固定架、固定导向盘以及燃烧组件，固定架固定安装在所述底座上，固定导向盘与入料导向器均固定在所述固定架上，固定导向盘的中心处沿插孔的中轴线方向开设有供料通道；燃烧组件包括脉冲点火器、燃气管以及回火器，燃气管的一端对应安装脉冲点火器、另一端连接回火器。该装置可在开放的常压下完成对小尺寸圆管基体的内壁进行氧化物薄膜的喷涂，也即镀膜，生产环境宽松，原材料旋转灵活，设备结构简单操作容易，方便实现连续化快速生产。