[发明专利]显影液分类回收处理设备在审
| 申请号： | 202011248887.8 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112495017A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 许志雄 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/03 | 分类号： | B01D29/03 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明为显影液分类回收处理设备，包括壳体，所述壳体包括进料口、进料斗、成分检测器、第一收集罐、第二收集罐、第一排水管、第二排水管以及控制器，所述进料斗位于所述壳体的顶端，所述进料口位于所述壳体的顶端，所述进料口连通所述进料口的内部，所述成分检测器位于所述壳体的顶端，且所述成分检测器靠近所述进料斗，所述成分检测器上设有检测头，所述检测头连通所述进料斗的内部，通过成分检测器对进料斗内部的物料进行检测，如果是显影液将打开第一药业阀，如果是DI水将打开第二药业阀，通过第一收集罐和第二收集罐进行分类储存，通过第一排水管和第二排水管进行排放到工作人员指定区域。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 分类 回收 处理 设备 | ||
【主权项】：
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