[发明专利]一种声波谐振器有效
| 申请号： | 202011240566.3 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112272015B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;郑鹏程;张师斌;周鸿燕;吴进波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供一种声波谐振器，包括：底电极、压电膜结构及顶电极；其中，压电膜结构包括至少两层叠置的压电膜，相邻两层压电膜之间具有不同的欧拉角；当在压电膜结构中激发厚度剪切波时，各所述压电膜在各自欧拉角下的压电向量 |
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| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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