[发明专利]一种修整边缘抛光垫的系统及方法在审
| 申请号： | 202011238390.8 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112372508A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 徐全 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 沈寒酉;王渝 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种修整边缘抛光垫的系统及方法；该方法可以包括：将未被使用的新抛光垫安装在抛光垫底板；在针对待抛光晶圆执行圆边抛光工艺单元之前，将所述新抛光垫与待抛光晶圆具有相同形状以及相同尺寸规格的修整器相接触；通过所述新抛光垫与所述修整器之间的相对运动，以修整所述新抛光垫表面的形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修整 边缘 抛光 系统 方法 | ||
【主权项】：
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