[发明专利]用于高压氢环境中的薄膜应变片有效
申请号: | 202011238389.5 | 申请日: | 2020-11-09 |
公开(公告)号: | CN112458415B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 张雯丽;张林;李晓;张万亮 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/04;G01B7/16;G01L1/22 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 杨小凡 |
地址: | 310014 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明公开了一种用于高压氢环境中的薄膜应变片,包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层;基底采用316L不锈钢材料制成,过渡缓冲层为CrMo膜,绝缘层为AlN‑Al |
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搜索关键词: | 用于 高压 环境 中的 薄膜 应变 | ||
【主权项】:
暂无信息
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