[发明专利]清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202011228527.1 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112329900B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 潘柏松;叶利丹 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | G06K17/00 | 分类号： | G06K17/00;B08B9/027 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 关向兰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗光阻剂管道的控制方法、装置及计算机可读存储介质，所述清洗光阻剂管道的控制方法包括：通过检测到光阻剂的上料信息时，获取待上料的光阻剂的第一标识信息；获取上一次使用的光阻剂的第二标识信息；在第一标识信息与第二标识信息不匹配时，清洗光阻剂管道。本发明提高了清洗光阻剂管道的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 光阻剂 管道 控制 方法 装置 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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