[发明专利]晶片检测装置在审
申请号: | 202011227944.4 | 申请日: | 2020-11-06 |
公开(公告)号: | CN114441805A | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 傅廷明 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R1/073 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 单晓双;叶明川 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本申请提供一种晶片检测装置,包括一夹持具与一探针卡。夹持具用以夹持一晶片。探针卡设置于一地面,并位于夹持具与地面之间,且位于夹持具的下方,且探针卡的一检测侧背向地面。夹持具夹持晶片朝向探针卡移动,并使晶片的一检测面接触探针卡。本申请能够提升检测工艺的时间以及效率,可降低操作风险,大幅提升工艺品质。 | ||
搜索关键词: | 晶片 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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