[发明专利]一种测试装置及测试方法有效
| 申请号： | 202011227744.9 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112327128B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 金永斌;贺涛;丁宁;朱伟 | 申请（专利权）人： | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067;G01R1/04 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;王凯 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试装置及测试方法，涉及半导体技术领域，解决现有的：待测物体和探针接触损伤、待测物体与探针接触不稳定的问题。其具体包括：测试探针、测试插座、支撑架和测试构件；测试探针设置在测试插座内，待测物体的下端面与安装在测试插座内的测试探针上端相抵靠，测试探针的下端通过测试插座与测试构件电性连接；测试探针包括柱形管、定位环、第一柱端、弹簧、第二柱端、套筒、丝杠螺母、储液管、活塞、漏斗状管、封堵环、导电流体和固定套。本发明有效保护待测物和测试探针,同时满足测量更准确、更有效的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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