[发明专利]可测量分布在内腔的多自由曲面反射镜面形和位置的方法有效
| 申请号： | 202011223913.1 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112378367B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李泽骁;张效栋;朱琳琳;董禹初;房长帅 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B21/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可测量分布在内腔的多自由曲面反射镜面形和位置的方法，被测工件包括内腔以及分别在内腔里的至少一面多自由曲面反射镜，所采用的测量系统包括运动装置，点测量测头，数据采集处理系统，标准内圆柱面和标准平面，其中，运动装置具有X轴运动导轨、Y轴运动导轨、Z轴运动导轨以及旋转主轴；点测量测头位于内腔里，可在一定夹角范围内瞄准被测表面，获得点测量测头端点至被测表面上所瞄准点的距离；数据采集处理系统与点测量测头连接，能够采集和处理测量数据；通过点测量测头对分布在内腔的多自由曲面反射镜进行测量，获得多自由曲面反射镜的三维点云数据，评价多自由曲面反射镜的面形精度和位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 可测量 分布 在内 自由 曲面 反射 镜面形 位置 方法 | ||
【主权项】：
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