[发明专利]吸附装置、压合设备及基板的压合方法有效
| 申请号： | 202011212281.9 | 申请日： | 2020-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN112331089B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 陈皓 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G09F9/33 | 分类号： | G09F9/33 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 何辉 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开一种吸附装置，包括：一载台，设置于一基板的一侧，包括复数个吸附孔；复数个吸附机构，设置于所述载台上，每一所述吸附机构包括一软性吸嘴，每一所述软性吸嘴被配置为沿一所述吸附孔的轴向独立升降并用于吸附所述基板的表面，以矫正所述基板的翘曲。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
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