[发明专利]一种基于风致振动抑制机理的宽量程风速风向传感器及其制备方法有效
申请号: | 202011207606.4 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN112362898B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 叶一舟;万树;贺学锋 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | G01P5/04 | 分类号: | G01P5/04;G01P13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 400044 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种宽量程风速风向传感器及其制备方法,该传感器包括:柔性感风结构(1),柔性填充材料(2),压敏电阻(3),悬浮硅膜(4),硅衬底(5)和绝缘层(6)。其中,悬浮硅膜(4)与硅衬底(5)之间的空腔由柔性填充材料(2)进行填充,柔性感风结构(1)与悬浮硅膜(4)也由柔性填充材料(2)进行连接,柔性感风结构(1)位于悬浮硅膜(4)上方,压敏电阻(3)与悬浮硅膜(4)之间设有绝缘层(6)。该传感器的柔性感风结构(1)经过优化设计,能够避免传统感风结构在高风速下的风致振动现象。将该柔性感风结构应用于风速风向传感,将显著拓展现有风速风向传感器的量程上限,实现宽量程风速风向测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 风致 振动 抑制 机理 量程 风速 风向 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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