[发明专利]无轴向位移的压电二维快反镜及驱动和偏转角度测量方法有效
| 申请号： | 202011202464.2 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112346238B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 田征;徐明龙;韩文文;周建 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 何会侠 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种无轴向位移的压电二维快反镜及驱动和偏转角度测量方法，利用逆压电效应，以压电堆为驱动元件，采用了两种位移放大机构，以及双轴解耦的柔性铰链虎克铰，驱动镜拖带着镜面偏转。在压电堆表面粘贴应变片，通过应变电桥输出间接测量二维偏转的角度，内嵌电路支持远距离信号传输。两种位移放大机构内嵌同规格压电堆，工作方向为短边方向。其中一种是通电后随着电压升高，工作方向位移增大，另一种则在工作方向上位移减小。通过结构设计，一个电压可实现两个位移作动器同时等量收缩和伸长。两种位移放大机构相对安装在同一个偏转轴下，两压电堆并联，随着电压从零增大，所驱动的反射镜从零开始，偏角逐渐增大且镜面在偏转过程中无轴向位移。 | ||
| 搜索关键词： | 轴向 位移 压电 二维 快反 驱动 偏转 角度 测量方法 | ||
【主权项】：
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