[发明专利]基于介质探测器的薄膜纵向热扩散系数测量系统和方法有效
| 申请号： | 202011197945.9 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112415046B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 郑飞虎;陈师杰;张冶文 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G06F30/23 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵继明 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于介质探测器的薄膜纵向热扩散系数测量系统和方法，用于测量薄膜的纵向热扩散系数，系统包括脉冲光源、分光镜、介质探测器、前置电流放大器、示波器和光电触发装置，介质探测器包括依次设置的接地金属电极、介质薄膜和加压金属电极，接地金属电极保持接地，加压金属电极连接有直流高压电源，加压金属电极还连接前置电流放大器的输入端，前置电流放大器的接地端接地。被测薄膜的一侧设有激光光靶，另一侧用于连接介质探测器的接地金属电极端。与现有技术相比，本发明简单易操作，能够快速完成测量，可用于测量BOPP、PI、PVDF等多种被广泛用于电气绝缘领域、微电子器件领域的介质薄膜和其它金属导电薄层。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 介质 探测器 薄膜 纵向 扩散系数 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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