[发明专利]双室高效镀膜机在审
| 申请号： | 202011191560.1 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112281134A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 金诚明;徐鑫;祝海生;孙桂红;黄乐;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种双室高效镀膜机，双室高效镀膜机包括运输台以及镀膜系统，所述运输台与所述镀膜系统相连通，所述镀膜系统包括第一处理室以及第二处理室，所述第一处理室与所述运输台连通，所述运输台用于承载工件并将所述工件传输至所述第一处理室中，所述第一处理室远离所述运输台的一侧与所述第二处理室相连通，所述第一处理室用于对所述工件进行前处理并将所述工件传输至第二处理室中进行镀膜。本发明提供了一种镀膜效率高的双室高效镀膜机。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司，未经湘潭宏大真空技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011191560.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多层玻璃和多层玻璃的制备方法
- 下一篇：一种桥梁排水螺旋过滤装置
- 同类专利
- 专利分类
