[发明专利]一种在Al2在审

专利信息
申请号: 202011188724.5 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112410742A 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 何霞文;李杨;张尚洲;叶倩文;毕永洁;王政伟;赵福帅;赵亚晴;姜晓雪 申请(专利权)人: 东莞市烽元科技有限公司;烟台大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/18
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 陈波
地址: 523857 广东省东莞市长*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种在Al2O3陶瓷基体表面磁控溅射镀纳米级铜膜的方法,该方法通过磁控溅射在Al2O3陶瓷基体上镀纳米级铜膜,使得膜层对基体的保护性更好,实现了良好的导电性和膜基结合力;制备的镀层致密、平整,硬度较高,耐磨性较好,磨损率下降,抗高温氧化性增强,从而改善材料的显微组织,提高材料的综合性能,同时膜层具有良好的电学性能。
搜索关键词: 一种 al base sub
【主权项】:
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