[发明专利]光学邻近修正方法

摘要

本发明提供了一种光学邻近修正方法，包括：将OPC图形导入OPC软件中，所述OPC图形中具有多个特定图形；选取所述OPC图形中的任一特定图形，对所述特定图形进行光学模拟，以得到模拟图形，将所述模拟图形与所述特定图形重叠，将所述特定图形的相邻的两边分别切割成n段，n≥3；选取n段中的一段或两段作为操作段，分别计算出每个所述操作段与所述模拟图形的最小距离；根据所述最小距离将对应的操作段移动一单位移动量，每移动一次进行一次光学模拟，以更新所述模拟图形，每次更新所述模拟图形之后，重新计算每个所述操作段与所述模拟图形的最小距离。本发明解决了现有技术中OPC图形的光学邻近修正受栅格切分影响导致OPC图形存在修正误差的问题。