[发明专利]一种浸液回收系统及采用该系统的浸液回收方法在审
| 申请号： | 202011176354.3 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112286012A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 付新;池优阳;吴敏;李元;童金杰;杜亮;徐宁;陈文昱 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 林君勇 |
| 地址： | 311305 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种浸液回收系统及采用该系统的浸液回收方法，包括回收腔、密封抽排口、回收流路、气液分离器和孔板；密封抽排口和回收腔设于末端物镜并位于衬底上方浸液供给回收装置中；密封抽排口位于浸液供给回收装置中且朝向衬底，密封抽排口从浸液供给回收装置与衬底之间间隙抽取浸没液体，且从所述间隙中抽取浸没液体径向外侧气体；回收腔位于浸液供给回收装置内且与密封抽排口连通；回收腔与气液分离器的容腔连通；孔板设置于回收流路中，所述的孔板具有沿流体流动方向的通孔，且通孔的直径尺寸小于孔板所在回收流路的回收管道内径尺寸。有效消耗流体绕流以消耗压力脉动能量，减弱气液冲击、避免回收流路中压力脉动被共振放大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浸液 回收 系统 采用 方法 | ||
【主权项】：
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