[发明专利]一种蒸发源系统有效
| 申请号： | 202011166023.1 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112176290B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 张久杰;沈伟星;季渊;潘仲光 | 申请（专利权）人： | 南京昀光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 211100 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种蒸发源系统，该系统包括：至少一个蒸发源装置，蒸发源装置包括第一蒸发源、第二蒸发源以及连通各个蒸发源的连通部件，第一蒸发源的内侧表面包括沿其延伸方向设置的N个第一开口，第二蒸发源的内侧表面包括沿其延伸方向设置的N个第二开口，沿蒸发源延伸方向的相同位置处，具有面向设置的一个第一开口和一个第二开口，且构成一个开口组；连通部件的顶部包括沿蒸发源延伸方向设置的M个喷嘴，连通部件连通开口组中的各个开口，使通过开口组输出的蒸镀材料混合后从对应的喷嘴喷出。本发明实施例中，各个蒸发源的蒸镀材料可以在连通部件内实现混合，保证了主客体蒸镀材料掺杂比例均匀的效果，进而提高了OLED器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 系统 | ||
【主权项】：
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