[发明专利]一种防止真空管道回压系统在审
| 申请号： | 202011160917.X | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112361035A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 梁仁模;苏佩 | 申请（专利权）人： | 无锡凯必特斯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K15/02 | 分类号： | F16K15/02;F16K27/02 |
| 代理公司： | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人： | 花修洋 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止真空管道回压系统，包括内环结构；所述内环结构两侧对称设置有法兰盖结构，形成气腔室；所述气腔室通过法兰盖结构中部开设有通孔与外界连通；一侧的所述法兰盖结构内壁固设有截断结构；所述截断结构的拦截端运动堵住另一侧法兰盖结构的通孔。本发明提供一种防止真空管道回压系统能有效的防止气体回流，避免污染腔体的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 真空 管道 系统 | ||
【主权项】：
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