[发明专利]一种计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法有效
| 申请号： | 202011148935.6 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112114501B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 牛志元;施伟杰 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司深圳分公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J9/02 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 罗芬梅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法，在该方法中，光源发出的光从物方光栅到像方光栅的过程中采用严格的光刻矢量模型进行计算，同时可以适用于任意形状的物方、像方光栅；并且光从像方光栅到接收屏的过程中采用严格的Rayleigh‑Sommerfeld衍射积分进行计算。本发明提供的计算光刻投影物镜中朗奇剪切干涉图像的方法由于采用严格的光刻矢量模型以及Rayleigh‑Sommerfeld衍射积分进行计算，所以无需考虑物方、像方光栅的近场或远场，接收屏也无需考虑傍轴近似等因素，避免了传统测试方法局限性大导致难以精确的得到剪切干涉图像的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 计算 光刻 投影 物镜 中朗奇 剪切 干涉 图像 方法 | ||
【主权项】：
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