[发明专利]照度检测机构在审
| 申请号： | 202011147076.9 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112284523A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 吴涛;孙增强 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J1/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种照度检测机构，其包括照度检测单元和驱动单元，该照度检测单元包括沿第一方向排列的M个照度检测元件；照度检测元件用于检测紫外线照明装置的照度；驱动单元与M个照度检测元件连接，用于驱动M个照度检测元件沿第二方向同步移动，第二方向与第一方向在同一平面内，且相互垂直；照度检测元件的数量M等于第二方向上的每个检测位置沿第一方向上的预设的检测点的数量，且在M个照度检测元件沿第二方向同步移动至任意一个检测位置上时，M个照度检测元件与任意一个检测位置的预设的检测点一一对应地设置。本发明实施例提供的照度检测机构，其可以提高移动稳定性、检测效率、简化检测过程，还可以连续检测，节省时间和人力。 | ||
| 搜索关键词： | 照度 检测 机构 | ||
【主权项】：
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