[发明专利]一种等离子体发生器有效
| 申请号： | 202011142787.7 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112235929B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 曹修全;徐浩铭;马耀明;赵明波;何润东 | 申请（专利权）人： | 四川轻化工大学 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人： | 孔鹏 |
| 地址： | 643003 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体发生器，属于等离子体设备领域。上述等离子体发生器包括阴极组件、阳极组件及进气组件。其中，阴极组件包括阴极内部水管、阴极外部水管及阴极头，阴极内部水管与阴极外部水管能够形成阴极冷却回路，进而有效对阴极头进行冷却；阳极组件包括阳极外部水管、阳极内部水管及阳极头，阳极外部水管及阳极内部水管能够形成阳极冷却回路，从而能够对阳极头进行有效冷却。由于阳极头和阴极头均采用循环冷却水进行冷却，因此，整个等离子体发生器的温度能够得到有效控制，进而能够提高阳极头和阴极头的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 发生器 | ||
【主权项】：
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