[发明专利]一种高精度线纹标尺精度检测校准系统

摘要

本发明涉及计量检测校准技术领域，且公开了一种高精度线纹标尺精度检测校准系统，包括光电显微光学图与线纹检测系统图，所述光电显微光学图包括有光源、聚光镜组、线纹标尺、物镜、分光棱镜、滤色片、分划板、CCD组件、光学扫描装置、狭缝、光电管；所述线纹检测系统图包括有精密级丝杆、接近开关组。该高精度线纹标尺精度检测校准系统，通过设置有物镜、CCD组件与激光干涉仪等达到校准精准的目的，本发明发明采用包括高精密丝杆、减速机构、光电显微镜及高清晰CCD组件、精密调节机构、环境空间梯度检测、精密伺服采集控制系统（控制原理框图），其中优化的光电显微镜光路结构，使得本发明专利可以实现更高精度等级的线纹校准。