[发明专利]在线无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置

摘要

本发明涉及一种在线无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置。本发明中的第一电离室和第二电离室均由真空腔室和真空泵组成，真空腔室由真空泵独立抽真空；第一电离室和第二电离室均安装有真空计和针阀；第一电离室内还配备电阻温度计，用于检测第一电离室内的环境温度。本发明中的带电粒子检测器包括离子约束电极板，加速电极板，分裂电极板，电流计，微型通道电子倍增管以及示波器。本发明对待测激光的脉冲能量及其空间位置信息实现同时在线无损检测，简化了检测的操作流程，兼顾了激光的检测与使用，使检测装置后端的用户用光效率大为提高，所获取的待测激光的检测参数更具时效性和精确性。