[发明专利]一种石英玻璃的盲槽加工装置及盲槽加工方法有效
| 申请号： | 202011129950.6 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN114378381B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王宝军;袁枫;秦淑斌;魏超;顾文华;王文磊;杨金耋;刘佳佳;刘伶艳 | 申请（专利权）人： | 航天科工惯性技术有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石英玻璃的盲槽加工装置及盲槽加工方法，其中，所述盲槽加工装置包括：反应池，以盛装石英玻璃及电解液；工具电极，设于反应池中，以作为阳极插入电解液；辅助电极，设于反应池中，以作为阴极插入电解液；超声振动机构，用于控制工具电极超声振动。本发明结构设计合理巧妙，结构简单，通过工具电极的超声振动带动了加工位置的电解液循环，在工具电极端部周围形成气层，从而增加火花放电的时间，提升加工效率；结合压力传感器和位移控制器，使工具电极施加在石英玻璃上的压力恒定，提高石英玻璃中盲槽深度的加工精度；极大地提高了盲槽加工的效率，解决了电化学加工难以在生产中实现在石英玻璃上的应用的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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