[发明专利]一种基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和频产生的248nm高功率深紫外激光器在审
| 申请号： | 202011127257.5 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112234424A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 赵智刚;刘世鑫;关晨;丛振华;刘兆军 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01S3/108 | 分类号： | H01S3/108;H01S3/109;H01S3/23 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 颜洪岭 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和频产生的248nm高功率深紫外激光器，包括1064nmNd:YAG激光器和1645nmEr:YAG激光器；其中，1645nmEr:YAG激光器沿光路依次设置有第一倍频非线性晶体、第一双色镜及第二双色镜；1064nmNd:YAG激光器沿光路依次设置有第二倍频非线性晶体、第一和频非线性晶体及第三双色镜；第二双色镜和第三双色镜将激光分别引入第二和频非线性晶体获得248nm高功率深紫外激光输出。本发明能够大大降低激光器的造价，而且效率较高，大大简化了设备复杂程度，使得整体系统结构更加紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 nd yag er 激光器 产生 248 nm 功率 深紫 | ||
【主权项】：
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