[发明专利]曝光机有效
| 申请号： | 202011125345.1 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112198767B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 王虎 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提出了一种曝光机，其包括用于承载待曝光的目标基板的载台，位于该载台上的光源组件、位于该载台与该光源组件之间的挡板组件；该挡板组件包括至少一层叠设置的挡板构件，任一该挡板构件至少包括沿第一方向设置的两个挡板，任一该挡板包括至少两个滑动连接的挡条，该挡板上的挡条形成该曝光机的目标曝光图案。本申请通过将曝光机中的至少一个挡板设置成由多个可移动的挡条构成，使得该挡条能够形成非规则的曝光图案，满足现有曝光工艺中对曝光图案的个性化需求。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司，未经TCL华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011125345.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低成本布袋除尘器智能检漏监测系统
- 下一篇：一种环保型自调节多级式隔音墙
