[发明专利]高可靠性高性能薄膜微波衰减片的制作方法有效
| 申请号： | 202011123982.5 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112332064B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陈建良 | 申请（专利权）人： | 苏州市新诚氏通讯电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00 |
| 代理公司： | 苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 周雅卿 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高可靠性高性能薄膜微波衰减片的制作方法，包括以下步骤：对陶瓷基板背面采用厚膜印刷工艺印刷高温银浆，在陶瓷基板的正面焊盘处采用厚膜印刷工艺印刷高温银浆，然后放入烧结炉进行烧结，在陶瓷基板正面涂布光刻胶、曝光、显影后分别溅射Ti/W金属层和Ni/Cr金属层，在去胶液中去除光刻胶，最后涂布光刻胶、曝光、显影后真空溅射电镀层，采用高温对TaN电阻层进行氧化，使其表面形成氧化层，对电阻进行微调，氧化层对电阻起到保护的作用。本发明减少了工艺步骤，极大提高了衰减电路的精度，保证产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 性能 薄膜 微波 衰减 制作方法 | ||
【主权项】：
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