[发明专利]用于真空蒸发室的蒸发单元及相关蒸发方法在审
| 申请号： | 202011110321.9 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112680699A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | J-L·居约克斯;F·施特梅伦;Y·卢梭 | 申请（专利权）人： | 瑞必尔 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 高美艳;吴鹏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于真空蒸发室的蒸发单元(1)，蒸发单元(1)包括：适于接收待升华或蒸发的固体或液体材料的坩埚(5)，用于加热坩埚中的材料的加热装置(3)，放置于坩埚(5)的开口端的喷嘴(6)，以及放置在喷嘴(6)上的罩帽(7)，喷嘴(6)包括截锥部分(61)，截锥部分(61)具有适于供蒸发或升华的材料流朝真空蒸发室通过的开口(60)，罩帽(7)具有围绕喷嘴(6)的截锥部分(61)设置的开口(70)。根据本发明，罩帽(7)具有围绕喷嘴(6)的截锥部分(61)设置的至少一个截锥部分(71,72,73)，罩帽(7)在坩埚(5)和真空蒸发室之间形成热屏障。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 蒸发 单元 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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