[发明专利]扫描电镜探测器的成像效果演示装置及方法在审

专利信息
申请号: 202011101836.2 申请日: 2020-10-14
公开(公告)号: CN112185225A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 张伟;许佳佳;彭璟;邓伟;焦广胜;肖飞;樊申腾;黄险;王红;齐涛;张涛;彭荣 申请(专利权)人: 深圳市美信检测技术股份有限公司
主分类号: G09B23/22 分类号: G09B23/22;G01N23/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张洋
地址: 518108 广东省深圳市宝安区石*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种扫描电镜探测器的成像效果演示装置及方法,属于演示教具技术领域。扫描电镜探测器的成像效果演示装置,包括:第一箱体、第二箱体、第一光源以及第二光源,第一箱体的一侧表面开设有第一通孔,第二箱体通过第一通孔与第一箱体连通设置,第二箱体背离第一箱体的一侧表面开设有第二通孔,第二通孔与第一通孔同轴设置,第一箱体内用于设置对应于第一通孔的演示样品,第一光源设置于第一箱体内,第二光源设置于第二箱体内,第一光源和第二光源分别向演示样品出射光束,用于模拟扫描电镜内不同探测器的成像效果。该申请能够对不同位置的扫描电镜探测器的成像效果进行模拟和演示,便于比较分析不同位置的扫描电镜探测器的成像特点。
搜索关键词: 扫描电镜 探测器 成像 效果 演示 装置 方法
【主权项】:
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